Vakuumbeschichtungssystem / Bedampfungsanlage
Details zum Artikel: 30099
Beschreibung: 1. Vakuumkammer * Abmessungen innen ca 1600 mm Durchmesser, ca. 900 mm Höhe * Zylindrische Kammer * Edelstahl 1.4301 * Große Fronttüre * 4 St. Öffnungen für großflächige Verdampferquellen * 1 St. Schauglasöffnung mit Blende * Diverse Flansche zur Instrumentierung * Rotationsantrieb für Substratdrehwagen * 2 Statz Bedampfungsbleche * Farbe RAL 7016 Rahmen, RAL 7035 Verkleidung 2. Verdampfereinrichtungen * 4 Stück großflächige Verdampfereinrichtungen ca. 152 x 635 mm * 4 Stück Metallargets 152 x 635 x 18 mm * 4 Stück Zündeinrichtungen 3. Verdampferversorgungen * 4 Stück Verdampferversorgungen, max. 200 A bei 100% ED 4. Glimmspannungsversorgung * 1 Stück HF – Glimmspannungsversorgung 5. Pumpsystem * 2 St. Mechanische Vorpumpe ca. 250 m³/h * 2 St. Rootspumpe ca. 2000 m³/h * 1 St. Öldiffusionspumpe NW 630 * Chevron Baffle NW 630 mit integrierter Meissnerfalle * Cryocooler PFC 550 zur Bafflekühlung im geschlossenen Kreislauf. * Hochvakuumeckventil NW 630 * 3 Stück Eckventile NW160 * Verrohrung 6. Druckmessung * 2 Stück Pirani * 1 Stück Kaltkathodenmeßröhre * 1 Stück Kombinationsdruckmessgerät * 1 Stück Kapazitätsmanometer zur Prozessdruckmessung 7. Gasversorgung * 1 St. Massflowmeter * Shutoff-Ventil separat angesteuert * Prozessdruckregler 8. Substratdrehvorrichtung * 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 4 Positionen zur Beschichtung von 4 St. Felgen bis 7,5“x17“ * 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 3 Positionen zur Beschichtung von 3 St. Felgen über 7“x17“ * 1 Stück Transportwagen 9. Steuerschrank * 1 Stück 19“ Steuerschrank, höhe ca. 1800 mm, zur Aufnahme des Rechnersystems nebst Messgeräten 10. Automatischer Beschichtungsprozess einschließlich Hardware * Rechnersystem basierend auf Pentium Prozessor, integriert in Kontrolldesk * 2,1 GP Festplatte, CD-ROM Laufwerk * 17“ Colormonitor, VGA Graphik * Keyboard * Software zur Durchführung des automatischen Beschichtungsprozesses einschließlich Datenerfassung und – Speicherung 11. Elektroversorgung * Elektroverteilung * Aufnahme der Systemsteuerung * Kühleinrichtung 12. Kontrolleinrichtung * Allen Bradley SPS * Allen Bradley SPS Software
| Hersteller: | PVT GmbH |
| Typ: | PVT 1600 SLC 1 |
| Baujahr: | 1998 |
| Anzahl: | 1 |
| Zustand: | gebraucht / used / second hand |
Alle Angaben, Bilder, Hinweise und Empfehlungen erfolgen nach bestem Wissen, je- doch ohne Gewähr. Änderungen der technischen Angaben bleiben vorbehalten. Informationen über: surface technologys Oberflächentechnik: Unter Oberflächentechnik versteht man die Summe aller Technologien zum Verändern der Eigenschaften von Oberflächen. Die Grundidee der Oberflächentechnik ist das Prinzip der Funktionstrennung zwischen dem Volumen eines Bauteiles oder eines Werkzeuges und seiner Oberfläche. Das Volumen erfüllt eine Primärfunktion (zumeist eine bestimmte Form wie z.B. bei Zahnrädern) und weist weitere Eigenschaften auf wie Gewicht, Festigkeit, Bearbeitbarkeit, aber auch z.B. einen geringen Preis. Die Oberfläche kann dann mit Hilfe der Verfahren der Oberflächentechnik auf ein bestimmtes Anforderungsprofil hin optimiert werden und so weitere Funktionen erfüllen. Das kann sein: * mechanischer Schutz (Verschleiß, Reibung) * Barrierefunktion (Korrosionsbeständigkeit, Permeation, Eindiffusion, Wärmeisolation) * Grenzflächenwechselwirkung (Biokompatibilität, Benetzbarkeit, Lackierbarkeit) * elektrische Funktion (Leitfähigkeit, elektrische Isolation) * optische Funktion (Reflexion, Absorption, Dekoration) Da heutzutage ein Werkstoff allein kaum noch alle an ihn gestellten Anforderungen erfüllen kann, stellt die getrennte Optimierung der Oberfläche einen großen Fortschritt dar. Verfahrenstechnisch treten die Verfahren der Oberflächentechnik neben die klassischen Fertigungsverfahren Urformen, Umformen, Trennen und Fügen mit zwei weiteren Verfahrensklassen: * Beschichten * Stoffeigenschaft ändern Quelle: www.wikipedia.org | ||||||||||||||||||||
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