Details zum Artikel: 30099

Vakuumbeschichtungssystem / Bedampfungsanlage

Beschreibung: 1. Vakuumkammer

* Abmessungen innen ca 1600 mm Durchmesser, ca. 900 mm Höhe
* Zylindrische Kammer
* Edelstahl 1.4301
* Große Fronttüre
* 4 St. Öffnungen für großflächige Verdampferquellen
* 1 St. Schauglasöffnung mit Blende
* Diverse Flansche zur Instrumentierung
* Rotationsantrieb für Substratdrehwagen
* 2 Statz Bedampfungsbleche
* Farbe RAL 7016 Rahmen, RAL 7035 Verkleidung

2. Verdampfereinrichtungen

* 4 Stück großflächige Verdampfereinrichtungen ca. 152 x 635 mm
* 4 Stück Metallargets 152 x 635 x 18 mm
* 4 Stück Zündeinrichtungen

3. Verdampferversorgungen

* 4 Stück Verdampferversorgungen, max. 200 A bei 100% ED

4. Glimmspannungsversorgung

* 1 Stück HF – Glimmspannungsversorgung

5. Pumpsystem

* 2 St. Mechanische Vorpumpe ca. 250 m³/h
* 2 St. Rootspumpe ca. 2000 m³/h
* 1 St. Öldiffusionspumpe NW 630
* Chevron Baffle NW 630 mit integrierter Meissnerfalle
* Cryocooler PFC 550 zur Bafflekühlung im geschlossenen Kreislauf.
* Hochvakuumeckventil NW 630
* 3 Stück Eckventile NW160
* Verrohrung

6. Druckmessung

* 2 Stück Pirani
* 1 Stück Kaltkathodenmeßröhre
* 1 Stück Kombinationsdruckmessgerät
* 1 Stück Kapazitätsmanometer zur Prozessdruckmessung

7. Gasversorgung

* 1 St. Massflowmeter
* Shutoff-Ventil separat angesteuert
* Prozessdruckregler

8. Substratdrehvorrichtung

* 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 4
Positionen zur Beschichtung von 4 St. Felgen bis 7,5“x17“
* 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 3
Positionen zur Beschichtung von 3 St. Felgen über 7“x17“
* 1 Stück Transportwagen

9. Steuerschrank

* 1 Stück 19“ Steuerschrank, höhe ca. 1800 mm, zur Aufnahme des
Rechnersystems nebst Messgeräten

10. Automatischer Beschichtungsprozess einschließlich Hardware

* Rechnersystem basierend auf Pentium Prozessor, integriert in
Kontrolldesk
* 2,1 GP Festplatte, CD-ROM Laufwerk
* 17“ Colormonitor, VGA Graphik
* Keyboard
* Software zur Durchführung des automatischen Beschichtungsprozesses
einschließlich Datenerfassung und – Speicherung

11. Elektroversorgung

* Elektroverteilung
* Aufnahme der Systemsteuerung
* Kühleinrichtung

12. Kontrolleinrichtung

* Allen Bradley SPS
* Allen Bradley SPS Software

Technische Daten Stromstärke  200 A (max) Steuerung  Allen Bradley SPS -  (Automatischer Beschichtungsprozess einschließlich Hardware) weitere Informationen: Alle Angaben, Bilder, Hinweise und Empfehlungen erfolgen nach bestem Wissen, je- doch ohne Gewähr. Änderungen der technischen Angaben bleiben vorbehalten. Tipp Umwelt- und Verfahrenstechnik GmbH Obere Hilgenstock 34 D-34414 Warburg Tel.: +49 5641 7447-0 Fax: +49 5641 7447-28 E-Mail: mail@tipp-international.de Internet: www.tipp-international.de

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